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亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿 度及压力等性能之特性。洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之---的洁净度及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间 我们称之为洁净室。
各种微生物的大小可如图1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。---是的微生物,大约在0.005μm以上,其次是立克次氏体。细类很多,检疫实验室建设,多数 在空气中以群体形式存在。常见的---大小为5.5~6.5μm,---为3.1~3.9μm,采用空气过滤器(0.5μm,过滤效率***99.9%)基本 上可将它们除去。
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